供應光學測量儀器形狀輪廓測量

中圖儀器研發生產的SuperViewW1光學測量儀器形狀輪廓測量是一款用於對各種精密器件表麵進行亞納米級測量的檢測儀器。具有測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數齊全等優點，能對各種產品、部件和材料表麵的平麵度、粗糙度、波紋度、麵形輪廓、表麵缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、台階高度、彎曲變形情況、加工情況等表麵形貌特征進行測量和分析。

產品參數

產品型號：SuperView W1係列

產品名稱：光學3D表麵輪廓儀影像係統：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

幹涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描範圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100

水平調整：±5°手動

粗糙度RMS重複性：0.005nm

台階高測量：準確度0.3%，重複性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、快速高效

生產企業：深圳市中圖儀器股份有限公司

SuperViewW1光學測量儀器形狀輪廓測量采用光學非接觸式測量方法，以白光幹涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表麵進行非接觸式掃描並建立表麵3D圖像，通過係統軟件對器件表麵3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形貌的3D測量。