光學3D表麵測量儀，白光幹涉儀，中圖儀器光學輪廓儀

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　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀是一款用於對各種精密器件及材料表麵進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光幹涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表麵進行非接觸式掃描並建立表麵3D圖像，通過係統軟件對器件表麵3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映器件表麵質量的2D、3D參數，從而實現器件表麵形貌3D測量的光學檢測儀器。

　　SuperView W1光學3D表麵輪廓儀可廣泛應用於半導體製造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及製造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、國防軍工、科研院所等領域中。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表麵，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300餘種2D、3D參數作為評價標準。

• 一體化操作的測量與分析軟件，操作無須進行切換界麵，預先設置好配置參數再進行測量，軟件自動統計測量數據並提供數據報表導出功能，即可快速實現批量測量功能。
• 測量中提供自動多區域測量功能、批量測量、自動聚焦、自動調亮度等自動化功能。
• 測量中提供拚接測量功能。
• 分析中提供調整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數據處理功能，其中調整位置包括圖像校平、鏡像等功能；糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能；濾波包括去除外形、標準濾波、過濾頻譜等功能；提取包括提取區域和提取剖麵等功能。
• 分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能，其中粗糙度分析包括依據國際標準的ISO4287的線粗糙度、ISO25178麵粗糙度、ISO12781平整度等全參數分析功能；幾何輪廓分析包括台階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能；結構分析包括孔洞體積和波穀深度等；頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能；功能分析包括SK參數和體積參數等功能。

 分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能，設置分析模板，結合測量中提供的自動測量和批量測量功能，可實現對小尺寸精密器件的批量測量並直接獲取分析數據的功能。