歐瑞康萊寶於九十年代研發的新型的DIP係列大口徑擴散泵,對傳統擴散泵在許多方麵做了重大改進,其主要特點:
- 抽速大;抽速範圍為3000~50000升/秒(ISO/DIN國際標準,既中國標準),共分六種規格;
- 泵壁有凹槽,冷卻水管臥在凹槽內,增大了接觸麵積,冷卻效果好;
- 油蒸氣返流量低。不加外置水冷擋板並使用DIFFELEN普通礦物油,其返流量為1×10-3毫克/厘米2每分鍾,如果采用DC705矽油,返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分鍾;
- 極限真空度高;低於10-8mbar;
- 重量輕;50000升/秒抽速的DIP50000擴散泵的重量僅為560公斤;
- 采用插入擴散泵內部的多支加熱棒加熱,熱傳輸效率高,因此預熱、時間短;對於抽速為3000-20000升/秒的泵,預熱時間為小於25分鍾;30000和50000升/秒的泵,預熱時間小於30分鍾;
- 可在不停泵的情況下更換擴散泵的加熱棒;
- 裝有過熱保護裝置,防止泵油過熱;
- 通過油觀察窗可隨時觀察油是否變質;
- 有注油口和放油口,換油時無須把擴散泵從真空係統中拆下;
- 允許前級壓力高,為0.6mbar。
- 在冶金、熱處理和鍍膜等領域,歐瑞康萊寶為客戶度身訂做各種規格的擴散泵組。
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