供應萊寶分子泵TUBOVAC係列陶瓷軸承渦輪分子泵

TW係列複合分子泵
抽速：  70 ～ 1600 升 / 秒 
極限真空度： 10 － 9 mbar 
允許前級壓強： 6 ～ 14mbar 
主要特點有： 
-  轉子葉片為一次成型，消除了葉片應力，使得前級耐壓高達 14mbar  ，並能抵抗短暫的大氣衝擊。
-高效的風冷係統，使其在絕大多數工作條件下無需冷水。
-  變頻器與泵體的一體化設計，避免了連接變頻器帶來的不便。
- 模塊化的設計為用戶提供了多種選擇。 
- 結構緊湊，可方便地安裝到複雜的係統中。  
- 可以任意角度安裝。 
- 螺旋式的拖動級耐粉塵能力強。 
- 軸承為油脂潤滑，無維護運行時間長。
-  無油真空泵，可用來產生潔淨的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護時提前預警。 
- 通過通訊接口可以與掌上電腦， PC 或 PLC  聯絡，以讀取分子泵工作狀態的參數，以及儲存單元的運行記錄；並可根據需要對某些參數進行修改，如頻率等。 
-  高前級耐壓降低了對前級泵的要求，使得係統總體造價降低。 

新一代數字化控製，五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C/CT ，  MAG2000C/CT ， MAG2200C/CT ， MAG 2800C/CT ， MAG 3200C/CT
抽速： 1500l/s ～ 3200l/s  
?  五軸定位雙端磁懸浮軸承係統，自平衡性能好全無油，耐粉塵、抗氣流衝擊。
?   轉子采用高強度鋁合金，一次高速銑削成形，應力小，強度高，耐衝擊，高溫變形量小，轉子葉片不易卷曲、打碎；轉子長期運行溫度可高達 120 ℃ 。 
?   轉子及定片均采用萊寶技術的 KAPLAR 塗層 
?  較鍍鎳的轉子具有更強的防腐蝕性能，適用於抽除腐蝕性強的工藝氣體； 
?   降低氣流與轉子葉片摩擦產生的熱量，降低轉子運行溫度，有利於延長轉子壽命； 
?  葉片鍍 KAPLAR 的轉子較鍍鎳的轉子重量更輕。
?   保護軸承為陶瓷軸承，壽命長（ >600 次），無需更換保護軸承。 
?  高真空端連接采用 ISO-F ，連接螺栓強度高，充分保障安全。
?   智能化電源，無需 UPS 。 
?  帶拖動級，前級耐壓在 2mbar 以上。 
?  分子泵運行溫度可調節，使其充分適應不同工藝製程。  
?  進的數字控製技術
?  運行速度、溫度可設置； 
?  運行數據記錄存儲，提供多達 180 條運行信息； 
?   磁懸浮軸承及泵運行溫度采用數字化控製，信號處理速度快，係統反應時間短 
?   轉子受氣流衝擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉子動平衡變化時，磁場補償反應時間短； 
?  在氣流長時間（ 2  分鍾以上）過大，而使泵負載過高，發熱量過大時，泵速會快速自動調節，使泵溫下降到正常水平。 
?  控製器與泵無識別性，可互換。 
?  免維護。  
典型應用：
適用於 
?  所有半導體主要製程：刻蝕、化學氣相沉澱及離子注入 
?  科研領域 
?  鍍膜  
另外，萊寶公司磁懸浮分子泵係統中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M ， MAG400 和 MAG 1000 。