單一MO源對氨氣的使用比例

MO源未來的發展。針對剛才三個不足之處，特別對於水氧的敏感，如何降低對水和氧的敏感。因為周圍三個甲基，周圍隻有六個電子，有接觸電子的能力，這個性質不是非常穩定。因為在元素周圍要達到八個電子是比較穩定的。采用一些孤電子，像胺、膦。這個表當中列出來的，比如說像這樣的MO源，通過有孤類電子的膦，降低它的活性。

二是降低碳沾汙，將三甲基镓、三甲基銦、三甲基鋁等分子中的甲基替換成異丙基或叔丁基。

三是改進固體三甲基銦源蒸氣壓的措施。改變封裝容器的結構，配置成溶液銦源。製備業態銦源。

四是采用單一的MO源。現在大家也知道我們的MOCVD是用三甲基镓和氨氣進行反應，現在氨氣用量是非常大的，這麽大量的消耗，而MO的消耗通常隻有3公斤這樣的水平已經是比較多了，而氨氣，在3公斤MO的情況下麵需要1.5噸，所以這兩個比例是非常不協調的。將來可能采用單一的MO源，就是在一個MO當中，就是不需要使用那麽多氨氣的消化。