EdWARDS羅茨泵 EH500

EdWARDS羅茨泵 EH500

價格：

￥

麵議

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更新日期:2013-11-04

有效期至:2014-02-02

產品品牌：

規格型號：

價格：麵議

所在地區 : 上海

產品分類 : 其他

概述

EH 機械增壓泵以簡單的羅茨泵原理為基礎，仍是的泵，可用於壓力範圍為 0.01 至 10 mbar、需要高抽速的應用場合。此泵必須始終由另一個提供相對於大氣壓的高壓差的泵作為前級。

機械增壓泵在相對較低的壓力下工作，不會暴露在與前級泵相同濃度的腐蝕性製程介質下，因此高度可靠。

應用

· 半導體製程

· 真空蒸餾

· 真空包裝

· 鋼脫氣

· 薄膜覆層

· 真空冶金

· 低密度風洞

· 空間模擬

· 真空浸漬

· 油幹燥和脫氣

· 製藥冷凍幹燥

· CO₂ 激光

功能和優勢

· 適用於在 0.01 至 50 mbar/0.0075 至 37.5 Torr 的壓力範圍下、需要超過 3000 m³h^-1/1776 ft³min^-1 的高抽速的應用場合。

· 它可在相對較低的壓力環境下表現出更高的可靠性。

· EH 泵具有高質量的無油泵送機械裝置。這可提供：

o 安靜的無振動運行。

o 牢靠且防腐蝕。

o 先進的軸封技術，處理艙中不會出現油汙染

· 防腐型泵送機械裝置采用高等級鑄鐵製造。

· 經驗證的軸封布置可確保沒有油進入泵送定子，並且由於不需要可能腐蝕或黏著的內部和外部旁通管道及閥門，因此可將維護要求降到。

· 軸封的設計經過優化，可確保潤滑劑無法進入泵送機械裝置中。這可在需要標準清潔程度的應用中保持增壓泵性能。此外，這可防止在公差非常嚴格的轉子葉和端麵上堆積吸入的微粒。

· 動態平衡的轉子和精密研磨齒輪有助於實現泵的平穩、運行噪音小，而這些特點正是先進技術設備的製造商所需要的。

技術數據

　型號

EH250

EH500

EH1200

EH2600

EH4200

排量（工作容積）

310 m³h^-1 / 185 ft³min^-1

505 m³h^-1 / 300 ft³min^-1

1195 m³h^-1 / 715 ft³min^-1

2590 m³h^-1 / 1525 ft³min^-1

4140 m³h^-1 / 2440 ft³min^-1

使用前級泵時的有效抽速

240 m³h^-1 / 141 ft³min^-1

350 m³h^-1 / 206 ft³min^-1

840 m³h^-1 / 495 ft³min^-1

1750 m³h^-1 / 1031 ft³min^-1

3100 m³h^-1 / 1825 ft³min^-1

泵的壓力差

0-180 mbar/0-140 Torr

0-110 mbar/0-83 Torr

0-90 mbar/0-68 Torr

0-80 mbar/0-60 Torr

0-60 mbar / 0-45 Torr

進氣口連接

ISO63

ISO100

ISO160

ISO250

出口連接

ISO40

ISO63

ISO100

轉速

0-2900 rpm

連續進氣口工作壓力

0-1000 mbar/0-760 Torr

出口壓力

1000 mbar/760 Torr

推薦的前級泵

GV80、E1M/E2M40、E1M/E2M80

GV80，E2M80

GV160、GV250、
E2M80、E2M175

GV250、GV400、
E2M175、E2M275

GV400、E2M275

電機功率

碳氫化合物

2.2 kW / 3 hp

2.2 kW/3 hp

3 kW/4 hp

11 kW/15 hp

PFPE

1.5 kW / 2 hp

1.5 kW/2 hp

3 kW/4 hp

7.5 kW/10 hp

11 kW/15 hp

ATEX

2.2 kW

3 kW

11 kW

防爆

3 hp

4 hp

15 hp

環境溫度範圍

工作

5 至 40°C/40 至 104°F

存儲

-10 至 80°C/14 至 176°F

工作濕度

90% RH

推薦用油

Ultragrade 20

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