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供應小型等離子清洗機.電漿清洗機

價  格:

麵議

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更新日期:2011-04-12

有效期至:2011-10-09

產品品牌:

規格型號:非標準

價格:麵議

所在地區 : 廣東

產品分類 : 其他

小型等離子清洗機:
 
小型等離子清洗機(電漿清洗機)主要用於實驗、科研、醫學及小規模的生產領域。
 
特點:成本低,整機機械、電氣結構簡單、實用,易維護。
 
控製方式:手動或自動控製模式。
 
電源功率、清洗時間、氣體流量、淨化真空度等參數可設置。
 
 
 
等離子刻蝕機簡介:
 
等離子體刻蝕設備的原理是在真空狀態下,利用射頻輻射使得氧、氬、氮、四氟化碳等氣體生成具有高反應活性的離子與器件等反應形成揮發性化合物,然後由真空係統將這些揮發性物質清除出去。
 
等離子體刻蝕設備應用於刻蝕矽片邊沿的矽鱗層,擴散過程中,不但矽片的表麵擴散上了磷,矽片邊緣也擴散上了磷,這會導致矽片正反兩極通過邊緣導通短路。所以必須將矽片邊緣這層被擴散上的矽磷去掉,大概去除1-3um。矽片在刻蝕機內水平旋轉,通入的反應氣體為四氟化碳、氧氣和氮氣。其原理是在放電狀態下反應氣體四氟化碳、氧氣和矽片邊緣的矽發生反應,反應形成粉末和氣態物質後隨氣流一起被抽走等。

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啟天自動化設備有限公司

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主營產品: 等離子清洗機、等離子刻蝕機、等離子去膠機、等離子表麵處理、幹法刻蝕機、自動焊接機、矽片裝片機等非標自動化設備,提供等離子清洗代加工服務。 聯係人: 張小姐
資質認證: 郵 件: qtkj@cnqtkj.com
開店時間: 電 話: 0769-87195860
所在地: 東莞市樟木頭樟洋工業區富竹二街八號 手 機: 15818467169

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